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信息描述
显示器用平面显示器(FPD) 这些年来大幅冲击 以阴极射线管 (CRT) 为主的电脑显示器及电视机市场,ITO靶材,亦将带动ITO靶材的技术与市场需求。如今的i T O靶材有两种.一 种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,靶材ITO,一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用 直流反应溅射制造 I T O薄膜,IZO靶材,但是靶表面会氧化而影 响溅射率,并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取一种方法生产 I T O 靶材,靶材,利用 L } I R F反应溅射镀膜. 它具有沉积速度快.且能精加确控制膜厚,电导率高,薄膜的一致性好,与基板的附着力强等优点 l。
各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、装饰用品等行业。分类
碲99.99%-99.999%-99.9999%-99.99999%
镉 99.999%-99.9999%-99.99999%
锌 99.999%-99.9999%-99.99999%
硒 99.99%-99.999%-99.9999%
铟 99.999%-99.9999%
锑 99.99%-99.999%
铋 99.999%-99.9999%
锗 99.999%-99.9999%
镓 99.99%-99.999%
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