粉体靶材_靶材_武汉鑫融

产品规格:铟.锡氧化物（ITO）低密度小圆靶

1.产品主要用途

蒸镀制备ITO导电膜

2.产品的物理及化学特性

2.1 化学式：In2O3/SnO2

2.2 外   观：绿色

2.3 晶粒度：5~15μm

2.4相对密度：60%±2％

2.5杂质含量：≤500ppm

3.产品检测方法

3.1晶粒度：扫描电镜（SEM）观察；

3.2纯度：ICP—AES分析测试杂质含量；

3.3 密度：手测法（千分尺、分析天平）；

靶材的定义：金属靶材，是属于靶材的范畴，靶材就是镀膜用的基底，不同的靶材镀不同的膜，比如液晶显示器，粉体靶材，平板电脑就是用的ITO靶材，靶材，ITO靶材是金属氧化物靶材，IZO靶材，还有AZO靶材，等等，用于镀膜，手机膜，电脑膜，ITO靶材，镀好的膜不是像玻璃那样用的，比如ITO膜在液晶显示器中作为阳极使用，要导电性好，透光性好，一个显示器的膜是有好几层的，金属靶材同样的道理，用于镀膜，生产的话，方法就多了，比如铌靶是在惰性气体气氛下，高温气氛烧结过程中，加压成型，而ITO靶材和AZO靶材就可以粉浆浇筑和模压成型。