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信息描述
产品规格:铟.锡氧化物(ITO)旋转靶
1.产品主要用途
真空磁控溅射制备ITO导电玻璃及柔性ITO导电膜
2.1 化学式:In2O3/SnO2
2.2外 观:黑色管状陶瓷
2.3纯 度:≥99.99%
2.4 晶粒度:5~15μm
2.5相对密度:≥99.5 %
2.6 电阻率:<1.2×10-4Ω·cm
2.7热胀系数:5.8×10-6K-1
3.产品检测方法
3.1晶粒度:扫描电镜(SEM)观察;
3.2纯度:ICP—AES分析测试杂质含量;
3.3 密度:排水法;
公司概况
武汉鑫融新材料有限公司是一家专注高端高纯金属材料研发、生产的科技公司,靶材IWO,我们具有十年研发生产经验,目前公司客户遍布中国、美国、英国、澳大利亚、法国、**、日本、韩国等26个国家。
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金属靶材是用于溅射镀膜:
通常将欲沉积的材料制成板材──靶,靶材,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入 10~1帕的气体(通常为氩气),在阴极和阳极间加几千伏电压,ITO靶材,两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极,与靶表面原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。
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